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技术参数
开启式管式炉：
双温区管式炉：两个独立的温控系统分别独立控制两个温区
加热区长度：温区 1:200mm，温区 2:200mm
炉管材料：高纯石英
炉管尺寸：外径：60 × 内径：54× 长：760 mm
温度曲线图 (两个温区设置在 800℃时所测，仅供参考)（可点击图片查看详细资料）
最高工作温度：1200℃（＜1hr）
连续工作温度：1100℃
控温精度：+/-1℃
真空密封：
配有不锈钢密封法兰，上面安装有不锈钢截止阀和机械压力表
进气端法兰接口为 Φ6.35 卡套接头，出气端法兰接口为 KF25 接口
法兰密封圈采用水冷却，使用时需要通入冷却水，可在本公司选购循环水冷机
真空度：10E‑2 torr（采用机械泵），10‑E5 torr（采用分子泵）
坩埚移动机构（转轮式法兰）：
一根铠装热电偶通过左端法兰通入到炉管内部，并与坩埚相连接 (图 1)
通过步进电机驱动使坩埚移动，并和热电偶和坩埚一起移动，实时监测样品的温度
进气端法兰转轮式法兰（图 2）
可同时在转轮系统中放入 4 个坩埚，可交替将放入 4 种材料的石英坩埚自动送入到石英管中（可在真空状态或气氛保护状态进行运作）
坩埚移动控制：
通过一步进电机控制坩埚移动的速度和位置
可控制坩埚最小移动位移为 1mm
坩埚最大移动距离为 200mm
防腐型数显真空计：
配有一数显防腐型真空计
当气压在 10mbar 以上时，不需因测量气体种类不同而进行系数转换
对于气体的压力检测具有较高的精确度和重复性
因为传感器上镀有涂层，所以具有较好的抗腐蚀性
测量范围：3.8x10‑5 ‑1125 Torr
混气系统：
此套设备中配有一 2 路混气系统
最大输出功率：18W
工作温度：5‑45℃
最大气压：3×106Pa
精度：±1% FS
质量流量计量程：
1:0‑100sccm
2:1‑199sccm
可根据客户要求选购 1‑5 路供气系统
产品尺寸：2400L×600W×1300mm H
质量认证：若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国 TUV 认证或 CAS 认证
使用注意事项：
炉管内气压不可高于 0.02MPa
由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为 0.01MPa‑0.1MPa，使用时会更加精确安全
当炉体温度高于 1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
进入炉管的气体流量需小于 200sccm，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
石英管的长时间使用温度＜1100℃
对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。
若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于 0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
应用注意事项：
此款管式炉具有多种用途
热蒸发：把蒸发料放在坩埚里，通过移动坩埚来精确找到所需要的蒸发温度
HPCVD：和热蒸发相似，可通入反应气体与蒸发的物料反应后再沉积
可用于制作多层二维晶体
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国家专利：
专利名称：多样品单通道自动切换进样系统及其进样方法
专利号：ZL 2016 1 0396132.X
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