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应用描述
本实验平台搭载整套半导体级高洁净气路与高精度流量控制系统，配置 8 路独立供气通道。经过管路优化与压力稳压设计，气体输送稳定、流量调控精准，满足高要求精密科研实验用气标准。平台兼容氩气、氢气、甲烷、乙烯、乙炔、氧气、氮气、氦气等多种高纯实验气体，适配薄膜沉积、高温材料烧结、气相合成、多氛围样品退火等实验工况，满足半导体材料、低维材料、功能薄膜等方向实验需求。
平台配备 2 英寸、4 英寸规格管式炉，集成高性能等离子源系统，硬件配置齐全，运行稳定，工艺拓展性强。可开展高质量二维材料生长、气氛环境退火处理、等离子体辅助加工等实验，支撑材料科学、凝聚态物理领域课题研究。
平台对外提供一站式材料定制化研发代工服务，打通小样研发至中试全流程，覆盖材料制备、微观形貌表征、电学性能测试等环节。重点面向薄膜材料、二维碳基材料、金属薄膜材料，承接样品定制制备、实验工艺调试、材料性能检测、实验数据分析等全流程代工，助力科研项目落地与新材料技术创新。
