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可扩展高分辨低真空场发射扫描电镜(Zeiss Gemini 360)

一款基于蔡司创新 Gemini 光学设计的高性能场发射扫描电子显微镜。该系统在低真空和高真空模式下均能提供良好的亚纳米级分辨率成像,特别擅长对复杂绝缘体、未镀膜样品进行高分辨、无荷电损伤的表征。其低真空模式在宽压力范围内保持优异成像性能,有效消除样品荷电效应,是材料科学、半导体、纳米技术及地质等领域进行高分辨显微分析与综合表征的先进解决方案。

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更新时间:2026-10-10
Technical Parameters

技术参数

二次电子分辨率: 0.7nm@15kV ,1.2nm@1kV


电子枪:热场发射电子枪, 最大探针电流20nA


亚纳米级分辨率成像, 特别擅长对复杂绝缘体 、 未镀膜样品进行高分辨 、无荷电损伤的表征。


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