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技术参数
二次电子分辨率: 0.7nm@15kV ,1.2nm@1kV
电子枪:热场发射电子枪, 最大探针电流20nA
亚纳米级分辨率成像, 特别擅长对复杂绝缘体 、 未镀膜样品进行高分辨 、无荷电损伤的表征。
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