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技术参数
真正亚微米级分辨率:< 0.7 µm ,< 700 nm 空间分辨率。
超大样品兼容性: 可容纳 300 mm ×300 mm 的样品。
强大的穿透能力: 160 kV X射线源,可穿透高密度材料。
多尺度成像灵活性:从整体大样品到局部亚微米细节的无缝观察。
无损三维成像: 提供样品内部结构的完整三维视图,无需破坏样品。
擅长对具有挑战性的样品(如低密度材料、多尺度结构)进行无损三维成像和分析,适用材料、半导体、生命、能源等领域。
