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聚焦离子束扫描电子显微镜（ThermoScientifc DualBeam Scios 2）

scios2是一种超高分辨率分析FIB-SEM系统，可为较广泛的样品（包括磁性和非导电材料）提供快速、简单、精确、智能自动化的高质量样品制备，为S/TEM 成像和原子探针断层扫描（APT）以及高质量的亚表面和3D样品测试提供理想条件。广泛应用于金属、半导体、电介质、多层膜结构等大块固体样品微区结构的分析和纳微结构加工处理。

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更新时间：2026-10-09
Technical Parameters

技术参数

电子束分辨率：15keV@1.0nm 


离子束分辨率： 30 kV@3.0 nm 


GIS气体注入：C沉积，W沉积 


定点刨面形貌和成分表征（配备EDS系统，可获取原始及切割后样品的基本形貌和成分组成）


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