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半导体器件性能分析测试系统（Lake Shore B1500A）

一款高性能、模块化的半导体器件特性参数分析系统，核心优势在于集成了高精度源测量单元（SMU）、电容电压单元（CVU）和脉冲发生单元 （PGU）于统一平台。该系统提供宽动态范围的电压/电流源与测量能力，支持DC I-V、C-V、C-f、脉冲I-V等关键测试，并能精确表征器件在极端温度环境下的电学特性。B1500A以其卓越的测量精度、稳定性成为先进半导体器件研发与可靠性评估的关键平台。

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更新时间：2026-10-09
Technical Parameters

技术参数

测量精度：0.1fA/0.5uV的I-V测试，精确快速的IV和时域测量； 


最大脉冲电压：±40V；

 

任意波形脉冲精度：10 ns脉冲宽度、10 V峰峰值输出、5 nA电流； 


最大I-V采样速率：200M 样本/秒


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