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纳米力学测试仪（KLA-Tencor Corporation G200X）

本仪器采用KLA-Tencor Corporation的G200X纳米力学测试系统。该系统基于高精度压电马达驱动与光学位置传感技术，可在纳米尺度下对材料进行精密力学性能表征。其核心功能包括深度敏感压痕、 微柱压缩、微划痕测试及薄膜界面结合强度测定等。G200X特别适用于薄膜涂层、微电子器件、生物材料、微机电系统及各类先进功能材料的微观力学性能评估，满足标准化测试与前沿研究需求。

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更新时间：2026-10-09
Technical Parameters

技术参数

压头类型：berkovich压头，最大摩擦力：250mN 


位移分辨率：0.01nm，有效载荷分辨率：3nN 


最大压痕深度：500um，有效加载载荷范围：10N


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