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技术参数
分析室真空度：≤7×10⁻⁸ Pa（钛升华泵+离子泵）；进样室真空度：10⁻⁶– 10⁻⁷ Pa（涡轮分子泵+机械泵）
能量分辨率：0.45ev@160Kcps和0.6ev@2.5Mcps；束斑尺寸：支持15 μm至大束斑可变（光阑调控）
空间分辨率：≤1 μm；像素：256×256，采集时间≤5分钟； 技术：球镜能量分析器（SMA）+ 延迟线检测器（DLD）
AXIS SUPRA+ 采用单色化Al Kα射线（1486.6 eV）作为核心激发源，结合可选高能Ag Lα单色化光源（2984.3 eV），实现材料
表面（2–10 nm深度）元素成分及化学态的定性与半定量分析。通过集成离子刻蚀、平行成像及多技术附件（UPS/AES/ISS），
支持原位深度剖析、化学态面分布成像及价带结构分析。
