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技术参数
参考文献：
注：请参阅 Ceder 教授团队使用该设备发表的优秀文章：An autonomous laboratory for the accelerated synthesis of novel materials
名称型号：1200℃自动化管式炉（150mm 管径，用于 AI 材料实验） GSL-1200XS6-ASD
产品特点：
可配合协助机器人完成自动放样，自动关闭及密封法兰，通入惰性气体清洗，自动控制供气流量，升温，恒温，降温，自动打开法兰取出样品，可以进行多次循环操作
通过机器人实现对样品自动放取，实现工艺的完全自动化，
购买多台设备可以实现高通量样品烧结，一台机器人对多台设备进行取放样。
双层壳体结构并带有风冷系统。
带有数显真空计可做微正压恒压控制（103000-120000 Pa），维持炉内的压力，
高纯度氧化铝纤维绝热材料更加节能
加热炉基本参数：
电源电压要求：AC 208-240V 单相，50/60 Hz
功率：6KW
最高温度：1200℃（≤30min）
连续工作温度：1100℃
加热区长度：350mm
加热元件：电阻丝（掺钼铁铬铝合金）
热电偶类型：K 型
推荐升温速率：≤10℃/min（≤1400℃）
炉管：尺寸：Φ150*600mm（长） 材质：高纯石英
（注：刚玉属于易损易耗，不在质保范围内）
温控系统：
包含一款 858P 型温度控制器 (也可选配欧陆仪表恒温精度可达 ±0.1℃)
PID 自动控温系统
智能化 50 段可编程控制
通过 UL 认证
控温精度：±1℃
不锈钢法兰密封系统 / 及接口设置：
一套 6 英寸全自动密封不锈钢水冷法兰，通过电缸进行恒压力密封和自动开启
设备需搭配水冷机使用（进出水口为 Φ12mm）
右端法兰留有一个 G1/4 双卡套出气口与设备内置出气系统连接，一个 G1/4 铠装热电偶插入口用于检测管内温度
右边法兰内侧有样品放置平台（支撑架尺寸详见目录 样品台支架）
左边留有 KF25 抽气口用于连接真空泵，配有数显真空计，一个 G1/4 进气口。
设备带有真空泵外接三芯插座和真空电磁挡板阀的外接航空插头（将真空泵接入插座后，真空泵的运行和电磁挡板阀的开合由该系统自动控制）
样品台支架：
样品台支架有两种：
一种可以放四个坩埚（坩埚材质可以根据客户需求定制，如石英，氧化铝，石墨）
一种可以放置 25-30 片四英寸基片的石英支架如下图
样品台支架材质是石英的
坩埚尺寸外径 40mm，高 30mm
样品台支架留有机器人抓取位置
样品台带有刻码处理便于视觉传感器捕捉
PC 机 + 软件：
通过软件可以进行以下操作：
设置加热炉升温曲线，设置通入加热炉内气体流量大小，设置取放样循环次数。
参数设置完成后，加热炉配合机器手可以完成以下流程
1. 机器人装样后，能够自动关闭舱门
2. 通入流动保护气体
3. 执行程序多段升温恒温和降温步骤（高达 50 段）
4. 程序完成后，停气，能够在 500 度打开舱门完成换样，
（注：换样过程中炉子需要尽量恒温，保持加热状态）
5. 换样完成后，可以继续重复进行原有的温度程序。
（程序开源，配合机械手和对软件进行嵌入式循环工艺控制）
6. 全流程自动记录工艺
软件显示以下参数：
炉管内压力
设备内置一路 0-1000sccm 的质量流量控制器
清洗周期（0-3 次）
前面板上安装 RJ45 通信接口，可连接 PC 或无线路由器实现远程控制（PC 和路由器可另行提供）
电脑操作软件，可支持多台加热炉
向现有客户开放通信代码，将设备与机器人连接，实现无人操作
自动化协助机器人（选配）：
额定负载：5KG
工作半径：900mm
最大臂展：1096mm
额定电压：DC48V
本体重量：25KG
重复定位精度：±0.02mm
通讯方式：TCP/IP,Modbus, 无线网络
典型功耗：150W
冷水机（选配）：
型号：KJ-5000
工作电压：AC 220V 50HZ
工作电流：1.4-2.1A，制冷量：2361Btu/h
压缩机功率：300W，水箱容量：6L
最大流量：16L/min，净重：24 Kg
真空度（选配）：
配套机械泵，真空度可以达到 10⁻² torr
配套分子泵，真空度可以达到 10⁻⁵ torr
产品尺寸：1200*860*1000mm（长*宽*高）
重量：约 200kg
