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技术参数
电源要求：
电压：220VAC +/- 10%，50/60Hz，单相
功率：6KW
加热：
最高工作温度：1200℃（≤ 30 分钟）
连续工作温度：1100℃
加热元件：FeCrAlMo 合金丝
加热区：2 温区：175mm+ 175 mm
总加热区长度：350 mm L
温度均匀性：120 mm（±2℃）
最大加热速率：建议 10 ℃/ 分钟
温度控制：
触摸屏面板可编程
内部设有两个 50 段式温度控制器
控温精度 ±1℃
可选升级：可配置欧陆控温仪表 控温精度 ±0.1℃
热电偶：两个 K 型热偶
默认配备 DB9 电脑端口及软件，便于电脑远程操作
密封法兰：
一组采用 SS304 材质的水冷密封法兰
上部法兰配有数字真空计、K 型热电偶、机械压力计以及 G1/4 双密封圈气体入口（KF 25 真空接口）
石英管塞和样品台放置在下部法兰上
配备有一个 1 - 1000SCCM 的 MFC（质量流量计）
样品台：
样品台：直径 130 mm，由石英板制成，可在该台上放置大型单个或多个坩埚用于高通量处理
可提供定制的样品台和坩埚以满足高通量处理的需求
水冷机：配备有一台 16L / 分钟的循环水冷机，用于冷却法兰并保护硅橡胶 O 型圈
真空泵（可选）：
机械泵：真空度\(10^{-2}\) Torr.
分子泵系统：真空度\(10^{-5}\) Torr.
可选：如果将此炉与气体输送装置、自动氢气燃烧器以及泄漏检测仪连接起来，就可以将其升级为自动氢气炉：
应用注意：
一台计算机可以控制多台管式炉
通过使用机械臂，这些管式炉可以实现完全自动化操作
