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技术参数
炉体结构：
炉体由 4 个小管式炉组成，采用氧化铝炉管，尺寸为 25 OD × 22 ID × 460 Lmm
每个加热模块都由独立的温控系统控制，最高温度可达 1700℃
快速密封法兰，安装有机械真空压力表，进气端安装有浮子流量计，样品可在真空或气氛保护环境下进行热处理
可同时放入 4 个样品，在不同温度下进行热处理
加热元件：硅钼棒
工作温度 & 恒温区：
连续工作温度 1600℃
最高工作温度 1650℃(＜2 hrs)（更新时间：19.12.10--JS2）
加热区：150mm
恒温区：30mm (±1℃)，60mm (±5℃)
炉管：
高纯氧化铝炉管：Φ25X L 460 mm，4 根
4 个浮子流量计
快速连接法兰，KF25 真空接口
真空度：10⁻⁵ torr（采用分子泵）
有一真空泵接口（KF25），可在本公司购买各种真空泵
温度控制：
采用触摸屏设置温度程序，带有超温和断偶保护
4 个温区分别由 4 个独立的温控系统控制
4 根 B 型热电偶
最高加热速率：10℃/ min
控温精度：±1℃
功率，工作电压：6 KW，208‑240V 单相， 50/60Hz
质量认证：
此产品已通过 CE 认证
证书编号：M.2021.206.C67998
若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国 TUV 认证或 CSA 认证。
产品尺寸：1000 L × 650 W × 640 H mm
警告 & 应用注意：
此管式炉，只可在真空或常压状态使用，炉管内的相对气压不可大于 0.02MPa
进气流量 < 200 SCCM（200ml/min）
向炉管内通气的气瓶上必须安装双级减压阀（可在本公司购买）
可选购本公司的供气系统，可用于进行 CVD 实验
