1200℃高通量自动化管式炉-道合锐科技（上海）有限公司

Application OVERVIEW

应用描述

可以通过一台 PC 机可以控制多台该设备

设备可完全实现程序预设，包括自动开启关闭炉腔，自动密封，按照实验程序自动抽气、供气、烧结，开启炉腔等工作，并全程记录工艺流程，
通过机器人实现对样品自动放取，实现前后工艺的完全自动化，
购买多台设备可以实现高通量样品烧结，一台机器人对多台设备进行取放样。
可更换式的样品台，可满足多种尺寸的处理
开源 LABVIEW 软件程序可与多种设备耦合，开发性强，例如与其他仪器耦合，实现多设备协同工作实现流程自动化；也可与多编程软件嵌入采集，例如与 Python 实现嵌入式耦合采集计算，可在自动化高通量工艺下实现准确高通量数据采集及分析，在自动化工艺执行同时自动统计分析工艺流程及结果数据，
双层壳体结构并带有风冷系统。
高纯度氧化铝纤维绝热材料更加节能

Technical Parameters

技术参数

电源电压要求：AC 208‑240V 单相，50/60 Hz

功率：3 KW
最高温度：1200℃（小于 0.5 小时）
连续工作温度：1100℃
加热区长度：300mm，恒温区长度：100mm (+/-5℃)
最大升温速率：≤ 20 °C/min（加热元件寿命原因建议升温速率
5" 石英管 (外径 130mm x 内径 120mm x 520mmL)
包含一款 858P 型温度控制器 (也可选配欧陆仪表恒温精度可达 ±0.1℃)
PID 自动控温系统（欧陆 3008p 高精度仪表）
智能化 50 段可编程控制
控温精度：±1℃

默认 DB9 PC 通信连接端口

不锈钢法兰密封系统 / 及接口设置：

一套 5 英寸全自动密封不锈钢水冷法兰，通过硅胶 0 型圈 + 电动推杆 + 压缩气缸进行恒压力密封和自动开启。（密封压力源为压缩空气，需提供 0.5mpa‑0.6mpa 的恒定气压，设备自带过滤功能减压阀，供气管道为 Φ12mm）

设备需搭配水冷机使用（进出水口为 Φ12mm）（水冷机需另外配置）
右端法兰留有一个 G1/4 双卡套进气口，一个 G1/4 铠装热电偶插入口，一个机械压力表，供气管道为 Φ6.35mm 聚四氟管路，
法兰内侧有样品放置平台
左边留有 KF25 抽气口，装有压力传感器（压力范围：1‑200KPa）
左边还出气口装有微调阀，调解出气口流量大小

设备带有真空泵外接三芯插座和真空电磁挡板阀的外接航空插头（改插座为程序供电，即将真空泵接入插座后，真空泵的运行和电磁挡板阀的开合由该系统自动控制）

样品台支架：

样品台支架可以放四个坩埚（坩埚材质可以根据客户需求定制，如石英，氧化铝，石墨）

样品台支架材质是石英的
坩埚尺寸外径 40mm, 高 30mm
样品台支架留有机器人抓取位置
样品台带有刻码处理便于视觉传感器捕捉

PC 机 + 软件：

通过软件可以进行以下操作

设置加热炉升温曲线，设置通入加热炉内气体流量大小，设置取放样循环次数。

参数设置完成后，加热炉配合机器人可以完成以下流程

机器人装样后，能够自动关闭舱门
通入流动保护气体
执行程序多段升温恒温和降温步骤（高达 30 段）
程序完成后，停气，能够在 500 度打开舱门完成换样，（注：换样过程中炉子需要尽量恒温，保持加热状态）
换样完成后，可以继续重复进行原有的温度程序。（程序开源，配合机械手和对软件进行嵌入式循环工艺控制）
全流程自动记录工艺

软件显示显示以下参数：

炉管内压力（1‑200KPa）
设备内置一路 0‑1000sccm 的质量流量控制器
清洗周期（0‑3 次）
前面板上安装 RJ45 通信接口，可连接 PC 或无线路由器实现远程控制 (PC 和路由器可另行提供)
电脑操作软件，可支持 8 台加热炉
向现有客户开放通信代码，将设备与机器人连接，实现无人操作

设备使用安装条件：

电压单相 AC 220V±10%，频率 50HZ，功率 3KW

连接空气开关，客户需准备一个两极 20A 的空气开关
此设备需要客户提供压缩气源，气源需要输出 0.5mpa‑0.6mpa 的恒定气压，供气管道为 Φ12mm
此设备需要冷水机，客户可以从本公司购买或者自己提供（进出水口为 Φ12mm 水管）

产品尺寸：1210*770*820mm（长*宽*高）

重量：约 160kg