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产品描述
1.可通入纯氢，并且有相关的防护措施与尾气处理
2.可实现自动法兰开启与推拉料
3.设备配置有进气电磁阀、电子点火器和探测器，一旦发生气体泄漏，将自动切断进气
4.尾气燃烧处理，无明火，可自动检测尾气处理是否正常。
5.可实现快速升降温，通过系统控制与工艺配合实验精确控制。
6.采用触摸屏操作（纯机械操作可选），数据可导出
技术参数
最高使用温度 1200 度 长期使用温度 1100 度
最大升温速率 20 度 / 分 最大降温约速率 50 度 / 分
加热原件：电阻丝（进口高质量可选）
操作方式：触摸屏配合机械按钮
可放入样品尺寸 xxx
外形尺寸：xxx
重量：xxx
加热炉：根据样品尺寸选择标准加热炉模块
炉管及法兰：
1.材质：高温不锈钢（可选镍基合金不锈钢管） 尺寸：xxxx
2.附带石英内衬，污染后可清洗更换（确保内衬在烧结中不想变形）
3.采用无氧铜密封圈（一次性耗材）确保密封
4.炉管可移动（将根据最终方案决定炉管移动或者炉体移动）配备自动降温系统
5.全自动开启法兰
6.配备有炉管防护网
进气与出气过程：
1.进气端安装有两路进气系统，一路为保护气体进气，一路为工作气体进气，工作气体进气通过一个浮子流量计和进气电磁阀，当检测系漏时将自动关闭工作气体进气电磁阀，同时打开保护气体进气电磁阀，往炉管内充入保护气体；
2.出气端安装有两路出气系统，一路为工作气体出气口，一路为预留出气口。 工作气体出气口安装有一浮子流量计，浮子流量计量程 0.2 装有一个电子点火器，用于对工作气体进行电子点火
温度控制（国产仪表可选）：
1.控仪表为欧陆 3504 程序温控仪表
2.PID 自动控温系统
3.可存储 10 段温度曲线（每段曲线可设置 500 段程序）
恒温控温精度：±0.1 ℃
设有超温报警，以防止人员误操作
面板上有 EIA485 通讯接口，可以电脑相连接（用电脑控制仪器）
4.确保炉温与实际温度一致，并且提供温区分布参考图（数据）
气体探测器：
1.配有两套氢气探测器在此系统中，一套为固定式，安装在固定支架上面，可以实时监测设备氢气的泄漏情况；一套为便携式，可以随时对 进行监测。
2.氢气监测范围：1‑1000ppm
工作温度：‑20℃——60℃
3.报警点设置：氢气报警器设置有两个报警，首级的报警点 50ppm，一旦探测到氢气浓度达到此值时，氢气报警器将发出蜂鸣报警声，提 点。
第二级的报警点为 100ppm，一旦探测到氢气浓度到达此值时，系统自动关闭氢气进气阀。
自动进出料系统（手动可选）：
1.一个 K 型 (S 型可选) 的铠装热电偶通过法兰伸入到炉管中，并可随坩埚移动，可实时监测样品的实际温度。
2.通过步进电机移动炉管内的坩埚（样品台），最大行程为 200mm。（根据无杆气缸组件配不同的炉子行程不同，客户可定制行程）
通过触摸屏设定坩埚一定的距离和目标位置，坩埚移动速度为 180mm/min（可根据要求提供变速控制，需要定制速度购买前请与销售沟通 但需额外付费）。
3.可根据要求提供用于晶片的氮化铝样品架或石墨平板基底支架，将收取额外的定制费
真空泵：
1.根据实际情况选择标准真空泵，用于实验前洗气
2.配备防腐真空计
3.控制集成到整体系统
供气系统：
1.氢气专用质子流量计与密封
2.根据客户具体工艺选择相应路数的供气系统
3.根据最终方案选择集成或者标准产品
4.控制集成到整体系统
