Name: 高速自动化学机械抛光机
SKU: UNIPOL‑1203
Price: 请咨询 CNY
Availability: InStock

PRODUCT OVERVIEW

产品描述

超平不锈钢抛光盘（平面度为每 25mm×25mm 小于 0.0025mm）。

超精旋转轴（托盘端跳小于 0.01mm）。
设有两个加工工位，可分别进行控制。
配有全自动控制触摸屏面板，可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。
配置自动滴料器，流量速率可视化调整，自动研磨和抛光。
配置 GPC‑100A 精密磨抛控制仪，可调节压力，修整面型，使磨抛更加方便快捷。
研磨部分采用防腐材料，耐化学腐蚀。

Technical Parameters

技术参数

设备供电端口：AC220V 50Hz

总功率：500W (MAX)
磨抛盘直径：Φ300 mm 铸铁花盘、不锈钢平盘各 1 个
载样盘直径：Φ105 陶瓷平板载样盘、陶瓷修盘环各 1 个
工位数：2 位
主驱动电机：精密伺服电机 0.45KW
摆臂驱动电机：直流减速电机 DC24V 0.8W
下磨抛盘转速：1‑240rpm（速度可调）
摆臂速度档位：1‑15 挡可调
控制方式：触摸屏
设备外形尺寸：L550×W700×H420mm

净重：≈82Kg

GPC‑100A 精密磨抛控制仪（机械手）：

载样盘直径：Φ103mm

载样盘轴向行程：12mm
数显表精度：0.001mm
载样盘可调加载压力：0.1kg‑2.0kg
压力确认仪有效量程：1‑5000g
样品装卡方式：真空吸附
承载样件尺寸：直径≤103mm、厚度≤12mm
外形尺寸：外径 Φ146mm，高 266mm

SKZD‑2 滴料器（滚桶搅拌）：

设备供电端口：DC12 2A（标配电源适配器 IN:AC100‑240V OUT:DC12V 2A）

滴液工位（滴液泵）：4 个 (1‑4 位转换滴液)
料液瓶容积：500ml / 瓶
驱动控制方式：精密步进电机 + 蠕动泵 + 单板机控制器
滴液方式：蠕动定量滴液
流量：0.1ml/min‑10ml/min（速度可调）
运行方式：定时运行：范围：1‑999min
外形尺寸：L230×W370×H450mm

AP‑1400V 无油真空泵：

设备供电端口：AC220V 50Hz 450W

气流量 max：7.2m³/h
真空度 max：‑700mmHg（‑91KPa）
噪音：≤60db
热保护器：自动复位 130℃±5℃
外形尺寸：L204×W125×H181mm

应用提示：

设备供电为国标单相交流 220V 50Hz，实际供电参数以产品后部粘贴标牌为准。

可按用户要求定制各种磨抛盘，特殊载样盘、卡具，专用零部件等

高速自动化学机械抛光机，适配 CMP 平坦化工艺，配备双独立工位、超平抛盘与超精转轴。搭载触摸屏、自动滴料器及精密压力控制仪，支持参数可视化调节。研磨部件防腐耐蚀，可高效完成晶圆等样品的精密磨抛加工。