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产品描述
温控系统:
包含一款 PID 自动控制器
16 段可编程控制
内置过热保护和热电偶故障报警
控温精度:±1℃
带有 DB9 PC 通讯端口
电源:AC 220V±5% 50Hz
总功率:9KW
最高加热温度:1100℃(≤30min)
长期使用温度:1000℃
推荐升温速率:≤10℃/min
加热区尺寸:Φ240*210mm
加热元件:电阻丝
热电偶:K 型
坩埚与法兰组件:
标配一个单端封口的石英管,尺寸:外径 Φ200*内径 Φ190*深度 340mm
配有一套不锈钢水冷快接法兰,法兰底座通过螺丝固定在壳体上,法兰盖安装在一个自动开合机构,开合机构平面移动距离:约 330mm
法兰内部焊接了三根支撑杆,两边的支撑杆上固定了一个多层石英挡板作为管堵使用,挡板中间带有通孔,一个镍基合金材质的样品台从挡板中伸出,样品台支撑杆尾部带有槽洞,能穿进槽洞内,利用螺丝固定样品台在中间的支撑杆上

样品台可放置样品尺寸:≤127*85*50mm,重量≤1kg

(其它材质和尺寸样品台可按照客户要求进行定制)
炉体侧面有两个水管接头,通过水管与水冷设备连接
设备左侧有两个 G1/4 的卡套接头,为进、出气口,进气口通过气管与气瓶的减压阀连接,出气口通过气管与法兰上的进气口连接。进气口上安装了一个电磁阀自动控制进气的通断;
法兰上的另一个 Φ6.35mm 的双卡套接头为出气口,一个电磁阀自动控制出气的通断,安装了一个安全泄压阀,当腔室内气压达到上限压力时,安全阀自动打开排气;安装了一个量程为 - 0.1-0.15MPa 的机械压力表用于观察腔体内部压力
炉体侧面有一个 KF25 接口安装了一个不锈钢三通,三通的 KF16 接口安装了一个数显防腐真空计,三通的另一个 KF25 接口安装了一个电动挡板阀,挡板阀的 KF25 接口通过波纹管与真空系统连接。
炉体侧面预留了真空泵和水冷设备的电源插座
PC 机 + 软件:
通过软件可以进行以下操作
设置加热炉升温曲线,设置通入加热炉内气体流量大小,设置取放样循环次数。
参数设置完成后,加热炉配合机器手可以完成以下流程
软件显示以下参数:
炉管内压力
设备内置一路 0-1000sccm 的质量流量控制器
清洗周期(0-3 次)
前面板上安装 RJ45 通信接口,可连接 PC 或无线路由器实现远程控制 (PC 和路由器可另行提供)
电脑操作软件,可支持多台加热炉
向现有客户开放通信代码,将设备与机器人连接,实现无人操作

自动化协助机器人(选配):
额定负载:5KG
工作半径:900mm
最大臂展:1096mm
额定电压:DC48V
本体重量:25KG
重复定位精度:±0.02mm
通讯方式:TCP/IP,Modbus, 无线网络
典型功耗:150W
水冷机:
标配一台水冷机
型号:KJ-5000
工作电压:单相 AC220V±5% 50/60HZ
工作电流:0.6-3.9A
制冷量:2559Btu/h
水箱容量:6L
最大流量:16L/min
净重:26 Kg
设备外形尺寸:410×580×465mm(长*宽*高)

真空泵:
型号:VRD-8
抽气速率:2.2 L/S
电机功率:370 W
极限压强:5×10⁻¹Pa(不带负载)

设备外形尺寸:
关闭:970*810*780mm(长*宽*高)
打开:970*1160*780mm(长*宽*高)

重量:约 140KG(含真空泵)
使用注意事项:
腔室内气压不可高于 0.02MPa(相对气压);
由于气瓶内部气压较高,所以向腔室内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于 0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为 0.01MPa–0.1MPa,使用时会更加精确安全;
对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于 0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责。