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产品描述
采用钨作为加热元件，钨和钼反射屏作为隔热层，避免了挥发污染
底部样品台自动升降，装载样品方便快捷
最高真空度：10⁻⁶torr
最高工作温度：2000℃
一键式操作，自动执行烧结工艺
技术参数
电源：三相 AC380V±5% 50Hz
功率：110KW
加热元件：
加热元件：钨
隔热材料：钨反射屏 + 钼反射屏最高工作温度：
2000℃（＜30min）（低真空或流动气氛保护下）
1500℃（＜30min）（高真空下）
长期使用温度：
1900℃（低真空或流动气氛保护下）
1400℃（高真空下）
加热区尺寸：Φ210*310mm
有效工作区尺寸：Φ150*200mm（温度均匀性 ±5℃）
控温精度：±1℃
腔体与气路：
整套加热和隔热组件安装在一个不锈钢真空腔室内，尺寸约为 Φ970 Φ720*675mm
腔体上有一个进气口和一个出气口，进气口为惰性气体进气口，进气口和出气口安装有电磁阀，通过在人机界面上点动操作，可以打开和关闭电磁阀。进气口配置了一个质量流量控制器，用于控制气体的进气流量，流量计量程 500sccm，流量计精度 ±1.5% FS
腔体配有一个手动排气口
腔体背面有一个 CF160 的分子泵接口，一个 KF40 的机械泵接口和一个 KF16 真空计接口
腔体底部有一个电动升降平台，用于升降底部法兰密封盖组件。法兰密封盖通过气缸自动压紧和松开，实现自动密封功能。
在法兰密封盖上配置有一个直径 Φ150mm 的钨样品台，用于客户放置样品和坩埚。钨样品台最大承重 100kg。
温控系统：
PLC + 人机界面控制
C 型热电偶进行测温和控制
热电偶测温范围：室温～2000℃
PID 控制，可设置多段升温程序
具有超温及断偶报警功能
控温精度：1℃
安装了 PC 控制软件对数据进行实时采集
升温速率：
室温～200℃≤5℃/min；
200~1000℃≤15℃/min；
1000-1200℃≤10℃/min；
1200-2000℃≤7℃/min
控制系统：
设备的抽真空、加热等操作全部在人机界面上进行
通过人机界面上位机软件预设工艺流程可实现一键式操作，自动执行烧结工艺，可配合协助机器人（机器人客户自备）完成自动放样、自动关闭及密封法兰，自动通入预设的真空度和洗气流量进行气体置换、自动运行预设气体流量通入、炉体升温、恒温、降温、并自动打开取出样品。
设备带有 MODBUS TC P 通讯协议，并留有网线接口，客户可以通过开放的通讯代码，自动编写软件远程控制炉子的抽真空、通气氛、升降温和样品台升降，并可以将设备和机器人进行组合，实现无人化操作。
真空度：
冷态下空炉可达到的最高真空度
6×10⁻⁶Torr（采用分子泵机组，配套抽真空口 CF160 接口）
5×10⁻²Torr（采用机械泵机组，配套抽真空接口 KF40 接口）
真空系统：
前级机械泵：
型号：VRD-48
抽气口接口尺寸：KF40
抽气速率：（48m³/h）13.3L/S
电机功率：1500W
极限压强 4×10⁻² Pa
分子泵：
抽气速率：700L/s
极限压强：6×10⁻⁶ Pa
启动时间：≤9min
额定转速：36000rpm/min
冷却方式：水冷
抽气口接口尺寸：CF160 或 LF160
分子泵控制器：
型号：TCP-II
电压：AC 200~240V；
输出功率：750W
加速时间：5 分钟
输出频率：0.0----1300HZ
复合真空计：
电源：220V 50/60HZ
电阻柜阻止：约 85Ω
自动保护（电离）：＞10Pa
电离规测量范围：100–10⁻⁵ Pa
冷阱组件：
在分子泵和腔体之间安装有一套冷阱组件，用于对分子泵系统进行冷却，可以实现客户从室温到高温（≤1500℃）一直抽高真空加热的工艺要求和 1500℃－2000℃通流动性气氛烧结的要求。
水冷设备：
配备两台水冷设备
1、水冷设备：KJ-6300：
工作电流：3.4–26.3A
制冷量：30708 Btu/h
压缩机功率：2.64KW水箱容量：40L
最大流量：75 L/min
2、水冷设备：KJ-7500EN：
工作电流：2.1–14.1A
制冷量：61416 Btu/h
压缩机功率：5.41KW
水箱容量：70L
最大流量：117 L/min
设备外形尺寸：约 2840*1920*2500mm（长*宽*高）
重量：约 2500kg
注意事项：
由于气瓶内部气压较高，所以向腔室内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于 0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为 0.01MPa-0.1MPa，使用时会更加精确安全；
对于样品加热的实验，不建议关闭法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于 0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。
降温时请利用程序降温，不建议直接降温，设备温度在 100℃以上时不要直接关掉水冷设备电源，防止出现安全问题
